精密滾動軸承應用在真空和半導體工業

無塵室的環境中，當旋轉或直線運動是必要時，軸承和線性滑軌的使用是必需要特別注意的。大多數的時

候，特殊材料的應用和特殊的潤滑是必要的，可以防止該軸承因材料的磨損、油顆粒、釋氣…等因素，形成

污染源。因此可選擇ISO14644 –等級中各種適合無塵室環境中低粉塵產生的軸承，（當然其他的標準像是

VDI 2083 或FS209E 也可以應用）。視應用的類型來使用不同的無塵室潤滑脂，或是乾運行無油潤滑軸承

（例如採用陶瓷軸承或特殊材料的混合陶瓷軸承）。在真空、高溫環境上可應用特殊的超高真空軸承。